Kontwòl Pite nan ekipman kwiv nan sistèm semi -conducteurs gaz espesyalite
Entwodiksyon nan Semiconductor Espesyalite Sistèm gaz
Pwosesis fabrikasyon semi-conducteurs mande anviwònman ultra-pwòp, trè kontwole.
Sistèm livrezon gaz espesyalite jwe yon wòl enpòtan nan grave, depozisyon, dopan, ak etap netwayaj.
Gaz tankou silan, amonyak, klori idwojèn, ak trifluoride nitwojèn mande pou chemen transpò wo-pite.
Ekipman an kwiv, men se pa toujou premye chwa a, pafwa yo aplike nan liy segondè oswa sistèm sipò.
KenbePite chimik ak entegrite estriktirèlnan ekipman an kwiv enpòtan anpil pou fè pou evite kontaminasyon.
Enpòtans nan pite materyèl nan aplikasyon pou semi -conducteurs
Semiconductors yo trè sansib a molekilè-nivo enpurte.
Menm pati-pou chak milya dola (ppb) kontaminasyon soti nan kanalizasyon oswa ekipman ka mennen nan sede pèt oswa echèk aparèy.
Ou dwe kontwole, oswa reyaksyon sifas yo nan liy gaz yo dwe byen kontwole.
Sa fè seleksyon materyèl ak jesyon pite santral nan konsepsyon sistèm gaz.
Kwiv, ak bon fini ak kontwòl kalite, ka satisfè nòm sa yo nan liy ki pa kritik gaz.
Konpozisyon materyèl kwiv ak enkyetid
Creole kwiv se yon alyaj nan kwiv ak zenk, pafwa ki gen plon oswa fèblan.
Enpurte tankou souf, fosfò, oswa lwil rezidyèl ka konpwomi nivo pite.
Se wo-plon kwiv entèdi evite nan aplikasyon pou chanm oswa semi-conducteurs.
Sèlba-plon, dezincification ki reziste (DZR)kwiv yo ta dwe konsidere pou anviwònman sa yo.
Konpayi fabrikasyon yo dwe baySètifika materyèlKonfime konfòmite avèk estanda semi, ASTM, oswa ROHS.
Fini sifas ak kondisyon electropolishing
Fini nan sifas entèn nan ekipman kwiv anpil enfliyanse pwòpte sistèm gaz.
Sifas ki graj oswa ki pore imidite pèlen, idrokarbur, ak patikil, sa ki lakòz kontaminasyon alontèm.
Pou kontrekare sa a, ekipman yo souvanelèktropolizePou reyalize yon lis, pasivated sifas enteryè.
Sib sifas brutality (RA) se tipikman mwens pase0.2 µmpou liy distribisyon gaz.
Post-polisaj, ekipman sibi netwaye nanUltrapure Solvangki te swiv pa siye vakyòm ak netwayaj azòt.
Kontwòl patikil ak anbalaj cleanroom
Ekipman kwiv pou sistèm gaz semi -conducteurs dwe satisfè sevèEspesifikasyon konte patikil.
Nenpòt patikil ki lach oswa flak metal ka dezastre pou gato gaz-sansib.
Pou adrese sa a, ekipman sibi wo-piteNetwayaj ultrasonsSèvi ak DI Dlo ak Klas 100 estanda Cleanroom.
Yon fwa netwaye, ekipman yoDouble-Baggednan anbalaj pwòp-klas yo anpeche recontaminasyon.
Etikèt souvan gen ladan anpil trasabilite, netwayaj info pakèt, ak endikatè kontwòl imidite.
Pasivasyon ak penti pou estabilite chimik
Paske kwiv se pi plis reyaktif pase asye pur, pasivasyon sifas se kritik.
Metòd pasivasyon gen ladan oksidasyon kontwole, penti chrome-gratis, oswaNikèl PLATING.
Nikèl oswa electroless penti nikèl sèvi kòm yon kouch baryè yo anpeche lesivaj zenk oswa oksidasyon.
Kouch sa a tou amelyore konpatibilite chimik ak gaz tankou HF oswa CLF₃.
Regilye chèk epesè kouch ak tès adezyon asire durability nan sistèm presyon.
Enspeksyon, sètifikasyon, ak trasabilite
Gwo pite ekipman kwiv dwe paseenspeksyon milti-nivoanvan entegrasyon nan liy gaz.
Tès gen ladan:
Tès fwit elyòm (tipikman<1x10⁻⁹ atm-cc/sec)
Analiz gaz rezidyèl (RGA)
Tès Microbalance patikil koule
XRF oswa ICP-MS pou verifikasyon materyèl
Chak Fitting ta dwe konplètmantras pa nimewo anpil, ak ki asosyeSètifika Konfòmite (COC).
Gen kèk enstalasyon ki bezwen odit twazyèm pati oswa dokiman sètifikasyon ISO 14644.
Limit aplikasyon ak altènativ
Pandan ke kwiv ka satisfè kritè pite, sèvi ak li yo selimite a chemen ki pa kritikNan semi -conducteurs Fabs.
Pou liy gaz ultra-wo (UHP),316L asye pur ak VCR oswa soud òbitalse pi pito.
Fittings kwiv yo ka aplike nan sistèm tiyo echapman, liy pou wete bagay, oswaPwosesis sistèm dlo refwadisman.
Lè yo chwazi kòrèkteman epi trete yon fason ki apwopriye, kwiv bay yon pri-efikas, solisyon ki estab.
Avans nan lavni nan kouch ak netwayaj teknoloji ka elaji sèvis piblik li yo nan aplikasyon pou semi -conducteurs.
Konklizyon
Kontwòl pite nan ekipman an kwiv pou sistèm gaz semi -conducteurs se toude konplèks ak esansyèl.
Soti nan seleksyon materyèl fini sifas ak anbalaj, chak etap enpak bon jan kalite gaz.
Pandan ke kwiv se pa ideyal pou aplikasyon pou wo-pite, tretman avanse ak kontwòl kalite ka fè li solid nan zòn chwazi.
Atravè enspeksyon rijid, pasivasyon, ak sètifikasyon, ekipman sa yo ka sipòte san danje anviwònman manifakti chip pwochen jenerasyon.
Kontakte Ifan
Telefòn:+86 15088288323
